卡紧的整体喷头电极

摘要

一种用于半导体衬底处理中使用的等离子处理室的电极总成。该总成包括上部喷头电极，其通过一系列隔开的凸轮锁以机械方式连接于衬板。保护环围绕该衬板，并且可移动到使得该保护环中开口对齐该衬板中开口的位置，从而该凸轮锁可利用工具转动以释放从该电极的上面延伸的锁紧销。

主权项

一种在等离子处理室中使用的喷头电极，所述电极包括：由该喷头电极的上面和下面限定的中心部分和边缘部分，该上面包括延伸跨过该中心部分的平面，该下面由延伸跨过该中心部分的平的内表面和延伸跨过该边缘部分的台阶状外表面限定，该台阶状外表面包括形成该喷头电极的厚度增加的区域的环形平面；该电极的中心部分中的多个气体出口，通过该出口将工艺气体传送到该喷头电极和下部电极之间的间隙，晶片支撑在该下部电极上；多个在该边缘部分的上面中周向隔开的腔室，该腔室构造为容纳适于将该喷头电极卡紧于衬板的凸轮锁；以及在该上面中的定位销孔，该定位销孔构造为对齐延伸进入该衬板的定位销。