发明名称 |
一种PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层的制备方法和PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层 |
摘要 |
本发明实施例公开了一种PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层的制备方法,包括:在一基底表面上形成绝缘层,在所述绝缘层表面上形成PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层,对所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层进行极化处理,使所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层具有压电效应。则得到的PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层具有压电传感器的功能,可以对基底表面的磨损状态实时监控、反馈,因此无需再粘贴传感器,避免传感器和基底之间粘合度差的问题。并且,所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层与基底之间设置有绝缘层,而PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层对基底表面磨损产生的压电信号非常微弱,所述绝缘层可以阻挡PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层产生的压电信号进入基底,避免基底对压电信号的损耗,增强对压电信号的收集能力,提高对基底表面的磨损状态实时监控、反馈的灵敏度。 |
申请公布号 |
CN102839345B |
申请公布日期 |
2014.04.16 |
申请号 |
CN201210364873.1 |
申请日期 |
2012.09.26 |
申请人 |
中国人民解放军装甲兵工程学院 |
发明人 |
王海斗;邢志国;徐滨士;卢晓亮;李国禄;朱丽娜;马国政 |
分类号 |
C23C4/10(2006.01)I;H01L41/22(2013.01)I |
主分类号 |
C23C4/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王宝筠 |
主权项 |
一种PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层的制备方法,其特征在于,包括:在一基底表面上形成绝缘层;通过超音速等离子喷涂工艺在所述绝缘层表面上形成PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层;对所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层进行极化处理,使所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层具有压电效应;在所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层上表面的表面上形成第一电极,在所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层下表面的边缘形成第二电极,所述第一电极和第二电极构成所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层的电流导出电极;烘干。 |
地址 |
100072 北京市丰台区杜家坎21号装甲兵工程学院 |