发明名称 一种PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层的制备方法和PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层
摘要 本发明实施例公开了一种PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层的制备方法,包括:在一基底表面上形成绝缘层,在所述绝缘层表面上形成PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层,对所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层进行极化处理,使所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层具有压电效应。则得到的PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层具有压电传感器的功能,可以对基底表面的磨损状态实时监控、反馈,因此无需再粘贴传感器,避免传感器和基底之间粘合度差的问题。并且,所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层与基底之间设置有绝缘层,而PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层对基底表面磨损产生的压电信号非常微弱,所述绝缘层可以阻挡PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层产生的压电信号进入基底,避免基底对压电信号的损耗,增强对压电信号的收集能力,提高对基底表面的磨损状态实时监控、反馈的灵敏度。
申请公布号 CN102839345B 申请公布日期 2014.04.16
申请号 CN201210364873.1 申请日期 2012.09.26
申请人 中国人民解放军装甲兵工程学院 发明人 王海斗;邢志国;徐滨士;卢晓亮;李国禄;朱丽娜;马国政
分类号 C23C4/10(2006.01)I;H01L41/22(2013.01)I 主分类号 C23C4/10(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 王宝筠
主权项 一种PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层的制备方法,其特征在于,包括:在一基底表面上形成绝缘层;通过超音速等离子喷涂工艺在所述绝缘层表面上形成PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层;对所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层进行极化处理,使所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层具有压电效应;在所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层上表面的表面上形成第一电极,在所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>传感层下表面的边缘形成第二电极,所述第一电极和第二电极构成所述PbZr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>O<sub>3</sub>智能涂层的电流导出电极;烘干。
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