微机械耦合度可重构微波功率耦合器及其制备方法

摘要

本发明的微机械耦合度可重构微波功率耦合器不但具有传统微波功率耦合器的优点，如高的隔离度和好的方向性，而且能够实现低、中和高三种可重构的耦合度。该结构在砷化镓衬底上有两对MEMS悬臂梁结构，其一对较短MEMS悬臂梁的锚区在主线上而其另一对较长MEMS悬臂梁的锚区在耦合微带线上，每个MEMS悬臂梁的下方均设有驱动电极；通过控制长短MEMS悬臂梁的驱动电压，使该耦合器能够实现可选择的耦合通路，从而实现三种不同耦合度的可重构微波功率耦合器。

主权项

一种微机械耦合度可重构微波功率耦合器，制作在砷化镓衬底（24）上，在其上设有主微带线（5）、副微带线（6）、第一耦合微带线（7）和第二耦合微带线（8）、过渡微带线（9）、过渡微带线上的凸点（12）、MEMS悬臂梁（13和20）、MEMS悬臂梁的锚区（14和21）、驱动电极（15）、引线（17）、压焊块（18）、空气桥（19）和隔离电阻（22），其特征在于该微波功率耦合器为一个四端口微波器件，所述主微带线（5）直接连接输入端口（1）和直通输出端口（2）；所述副微带线（6）水平方向有三根相互平行的微带线，直接连接耦合输出端口（3）与隔离端口（4）；在隔离端口（4）接有隔离电阻（22）；所述副微带线（6）在水平方向上的三根相互平行的微带线的两个内部间隙中有相对孤立的第一耦合微带线（7）和第二耦合微带线（8），所述第一耦合微带线（7）和第二耦合微带线（8）与在水平方向的三根副微带线相平行；在主微带线（5）上有一对较短的MEMS悬臂梁（13），而位于所述第一耦合微带线（7）下方的第二耦合微带线（8）上有一对较长的MEMS悬臂梁（20）；主微带线（5）和副微带线（6）作为一个整体，其左右两侧各有一条过渡微带线（9），其中从上向下第一条耦合微带线（7）由空气桥（19）跨过副微带线（6）与副微带线（6）外的过渡微带线（9）相连；在该过渡微带线（9）上的凸点（12）的上方均有MEMS悬臂梁（13和20）的自由端。