发明名称 层叠体、阻气膜、层叠体的制造方法及层叠体制造装置
摘要 本发明提供一种层叠体,其特征在于,其包括:基材(2)、沿着基材(2)的外表面所形成的原子层沉积膜(4)、以机械强度比原子层沉积膜(4)高的膜来覆盖原子层沉积膜(4)的覆盖涂层(5)。
申请公布号 CN103732393A 申请公布日期 2014.04.16
申请号 CN201280037062.9 申请日期 2012.07.27
申请人 凸版印刷株式会社 发明人 吉原俊昭;黑木恭子;加纳满;佐藤尽
分类号 B32B9/00(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I 主分类号 B32B9/00(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 张永康;向勇
主权项 一种层叠体,其特征在于,其包括:基材;沿着所述基材的外表面形成的原子层沉积膜;以及,以机械强度比所述原子层沉积膜高的膜来覆盖该原子层沉积膜的覆盖涂层。
地址 日本东京都