| 发明名称 | 同性气体的输送系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了同性气体的输送系统，包括第一输送装置，所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置，第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。本实用新型提供的同性气体的输送系统，整体空间缩小，彻底消除安全隐患，实现连续供气，提高产品质量和工艺的稳定性，大大降低生产和物流成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203549381U | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN201320496514.1 | 申请日期 | 2013.08.14 |
| 申请人 | 上海聚鼎半导体设备有限公司 | 发明人 | 胡昌勇;何先明;王汉刚 |
| 分类号 | F17C7/00(2006.01)I;F17C13/04(2006.01)I;F17C13/02(2006.01)I | 主分类号 | F17C7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人 | 曾少丽 |
| 主权项 | 同性气体的输送系统，包括第一输送装置，其特征在于：所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置，第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连，所述第二输送装置和第三输送装置分别包括钢瓶、第一压力表、第一气动隔膜阀、调压阀、第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀，钢瓶连接第一压力表、第一气动隔膜阀，第一气动隔膜阀与调压阀的进口连接，调压阀的出口与第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀连接。 | ||
| 地址 | 201600 上海市松江区新浜工业园区上虞路200-1号 | ||