多PSD布置和电路

摘要

本发明涉及一种光束位置检测器，该光束位置检测器具有检测窗口，所述检测窗口用于检测撞击光束在所述检测窗口内的位置，所述检测窗口包括作为基于横向光电效应的位置敏感器件的第一PSD，尤其是具有依赖于所述光束的撞击位置的两个输出信号并且具有用于所述PSD的电子读出电路。所述检测窗口还包括作为基于所述横向光电效应的位置敏感器件的至少第二PSD，所述至少第二PSD在与所述第一PSD连续的几何线上对齐，使得所述第一PSD和所述至少第二PSD限定了所述检测窗口。

主权项

一种光束位置检测器，该光束位置检测器具有检测窗口（30），所述检测窗口（30）用于检测撞击光束（2）在所述检测窗口（30）内的位置，所述检测窗口（30）包括作为基于横向光电效应的位置敏感器件的第一PSD（1），尤其是具有依赖于所述光束（2）的撞击位置的两个输出信号并且具有用于所述PSD的电子读出电路，其特征在于：所述检测窗口（30）还包括作为基于所述横向光电效应的位置敏感器件的至少第二PSD（1），所述至少第二PSD（1）与所述第一PSD（1）沿着几何线连续对齐，使得所述第一PSD（1）和所述至少第二PSD（1）限定了所述检测窗口（30），尤其是其中，至少第一PSD和第二PSD以串联的形式电互连以形成直线传感器阵列。