| 发明名称 | 复合铜导电薄膜及其制备方法以及金属布线电路 | ||
| 摘要 | 一种复合铜导电薄膜及其制备方法以及通过该复合导电薄膜制备而成的金属布线电路，复合铜导电薄膜自下而上依次设有增粘层、作为中间导电层的铜基薄膜及用于保护铜基薄膜的保护层，铜基薄膜为铜或者铜合金薄膜，增粘层和所述保护层均为非晶金属氧化物薄膜。其制备方法包括在衬底上依次沉积增粘层、导电层和保护层，形成复合铜导电薄膜，复合铜导电薄膜经过图形化制成复合导电薄膜导线。本发明的复合铜导电薄膜粘附性好、耐氧化性优良。 | ||
| 申请公布号 | CN103730190A | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN201410020227.2 | 申请日期 | 2014.01.16 |
| 申请人 | 广州新视界光电科技有限公司 | 发明人 | 徐苗;赵铭杰;陈子凯;彭俊彪;邹建华;陶洪;王磊 |
| 分类号 | H01B5/00(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;B32B15/20(2006.01)I;B32B15/04(2006.01)I;B32B7/10(2006.01)I;B32B9/00(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I | 主分类号 | H01B5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 赵蕊红 |
| 主权项 | 一种复合铜导电薄膜，其特征在于：自下而上依次设有增粘层、作为中间导电层的铜基薄膜以及用于保护铜基薄膜的保护层，所述铜基薄膜为铜或者铜合金薄膜，所述增粘层和所述保护层均为非晶金属氧化物薄膜。 | ||
| 地址 | 510730 广东省广州市萝岗区开源大道11号科技企业加速器A1栋 | ||