基于MEMS阵列的组装式深部位移监测设备及系统

摘要

本发明涉及一种基于MEMS阵列的组装式深部位移监测设备，包括MEMS倾角传感器阵列、多个倾角传感器固定工件、多个数据线连接板和多个连接管件。该设备采用组装式沉孔，将尚处于地表之上的部分与其他部分进行组装连接后再继续沉孔，倾角传感器固定工件连接在两个或多个连接管件之间；多个倾角传感器通过所述数据导线相连接构成MEMS倾角传感器阵列，多个MEMS倾角传感器的测量数据用以通过计算来获得深部位移监测结果。本发明的监测系统在集成已有监测方法优点的基础上，引入MEMS倾角传感器阵列，由测量管件自由组装构成的深部位移监测设备及其配套施工工艺，实现了滑坡体深部位移监测的低成本、高精度、大量程、自动化、标准化安装。

主权项

一种基于MEMS阵列的组装式深部位移监测设备，包括微机电系统MEMS倾角传感器阵列、多个倾角传感器固定工件、多个数据线连接板和多个连接管件，其中：所述MEMS倾角传感器阵列由多个MEMS倾角传感器组成，每个MEMS倾角传感器固定在一个倾角传感器固定工件内部，所述MEMS倾角传感器固定工件的两端具有与所述数据线连接板和所述连接管件进行连接的接口，所述数据线连接板安装在所述连接管件的内壁，所述数据线连接板的内部有数据导线；所述基于MEMS阵列的组装式深部位移监测设备采用组装式沉孔，将尚处于地表之上的部分与其他部分进行组装连接后再继续沉孔，所述倾角传感器固定工件连接在两个或多个连接管件之间；所述多个倾角传感器通过所述数据导线相连接构成所述MEMS倾角传感器阵列，所述MEMS倾角传感器阵列中多个MEMS倾角传感器的测量数据用以通过计算来获得深部位移监测结果。