真空镀膜机减压装置

摘要

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种减压装置。真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，升级用罗茨泵组包括1号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的进气口与1号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的出气口与第三罗茨泵组联通。本实用新型通过对泵的合理连接从而减小真空室内的气压，起到辅助减压的作用，从而减小整个真空镀膜系统的能耗。

主权项

真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，其特征在于，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，所述升级用罗茨泵组包括1号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；所述1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；所述2号升级用罗茨泵的进气口与所述1号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；所述2号升级用罗茨泵的出气口与所述第三罗茨泵组联通。