发明名称 晶粒筛盘
摘要 本实用新型公开了微电子领域的一种可以区分GPP芯片的晶粒筛盘。由筛盘框和筛盘组成,筛盘位于筛盘框上面,其特征在于:筛盘有纵横整齐排列的筛选孔,筛选孔直径与所筛晶片的N面相同,筛选孔底部有排气孔,筛盘框为密闭空腔,排气孔与筛盘框密闭空腔相通;所述的筛盘框侧面有吸气孔,吸气孔与真空泵相连。本实用新型具有区分极性成功率高、操作方便和效率高等优点。
申请公布号 CN203553113U 申请公布日期 2014.04.16
申请号 CN201320597033.X 申请日期 2013.09.26
申请人 如皋市易达电子有限责任公司 发明人 黄建山;陈建华;张练佳;梅余峰
分类号 H01L21/67(2006.01)I;B07B1/28(2006.01)I;B07B1/46(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人 孙民兴;王维新
主权项 一种晶粒筛盘,由筛盘框和筛盘组成,筛盘位于筛盘框上面,其特征在于:筛盘有纵横整齐排列的筛选孔,筛选孔直径与所筛晶片的N面相同,筛选孔底部有排气孔,筛盘框为密闭空腔,排气孔与筛盘框密闭空腔相通。
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