一种芯片传输机械臂

摘要

一种芯片传输机械臂，通过真空吸附对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在机械臂后端的压电陶瓷对施加的压力进行测量，从而使芯片操作过程中保证操作精度和施加适当的键合压力；采用两个感应铜柱端面互相接触，防止了真空吸头在重力作用下自然向下倾斜，保证了测量精度，并且通过两感应铜柱感知真空吸头的位置，感知真空吸头的位置，从而告知控制系统开始检测压电陶瓷输出的电流。

主权项

一种芯片传输机械臂，包括真空吸头（1）、吸头支撑杆（2）、吸头支架（3）、连接架（4）、真空发生器接头（5）、连接导块（6）、压电陶瓷（7）、吸头侧感应铜柱支架（8）、压电陶瓷固定架（9）、压电陶瓷侧感应铜柱（10）、吸头侧感应铜柱（11）、压电陶瓷侧感应铜柱支架（12）和定位片（13），真空发生器接头（5）连接真空发生器，真空发生器接头（5）和吸头支撑杆（2）连接在吸头支架（3）上，真空发生器接头（5）和真空吸头（1）通过吸头支撑杆（2）连接，吸头支撑杆（2）内有气槽，吸头支架（3）通过螺栓连接到连接架（4）上，连接架（4）与连接导块（6）通过安装在连接架（4）和压电陶瓷固定架（9）底面的定位片（13）与压电陶瓷固定架（9）相连，压电陶瓷（7）放置于压电陶瓷固定架（9）内，其特征在于：吸头侧感应铜柱支架（8）为U形结构，吸头侧感应铜柱支架（8）的一侧与连接架（4）相连，固定整个吸头侧感应铜柱支架（8），吸头侧感应铜柱（11）通过吸头侧感应铜柱支架（8）另一侧上的孔安装在吸头侧感应铜柱支架（8）上，固定吸头侧感应铜柱（11）；压电陶瓷侧感应铜柱支架（12）为直角状，所述压电陶瓷侧感应铜柱支架（12）通过其一个面安装在压电陶瓷固定架（9）上，压电陶瓷侧感应铜柱（10）通过压电陶瓷侧感应铜柱支架（12）另一个面上的孔安装在压电陶瓷侧感应铜柱支架（12）上，吸头侧感应铜柱（11）与压电陶瓷侧感应铜柱（10）端面互相接触。