雷射制程参数调校方法及自动参数调校的雷射加工机

摘要

一种雷射制程参数调校方法，用以调校Q开关雷射的复数个雷射参数，包含下列步骤：以实验取得雷射参数的候选数值范围，雷射参数包含焦距深度、Q开关频率及雷射功率。自雷射参数的候选数值范围的上下限数值及中间值的组合中，以实验取得符合制程质量需求的最佳参数数值组合。根据最佳参数数值组合，以二分法更新雷射参数的候选数值范围。重复前一步骤直至雷射参数的候选数值范围的中间值至上下限数值的间距符合雷射参数的最小可设定分辨率。一种调校脉冲式雷射的复数个雷射参数的调校方法及一种自动参数调校的雷射加工机亦在此提出。

主权项

一种雷射制程参数调校方法，用以调校Q开关雷射的复数个雷射参数，该调校方法包含下列步骤：以实验取得该些雷射参数的候选数值范围，该些雷射参数包含一焦距深度、一Q开关频率及一雷射功率；自该些雷射参数的候选数值范围的上下限数值及中间值的组合中，以实验取得符合制程质量需求的一最佳参数数值组合；根据该最佳参数数值组合，以二分法更新该些雷射参数的候选数值范围；及重复前一步骤直至该些雷射参数的候选数值范围的中间值至上下限数值的间距符合该些雷射参数的最小可设定分辨率。