一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置

摘要

本发明公开一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置，包括通过管道依次连通的变频废气风机(1)、焚烧炉(2)、高温静电除尘装置(3)、洗涤塔(4)、重力脱水装置(5)与引风机(6)；通过各个废气处理装置的有序配合，处理高温、酸性、含尘、含氟的镀膜废气；洗涤塔(4)废液出口及重力脱水装置(5)出水口还连通有回水池(9)，回水池(9)通过抽液泵(13)与冷却塔(14)与供液池(8)构成循环通路，使洗涤塔(4)中未反应完全的碱液循环利用，反应完全后的废液经泥浆泵(15)抽至压滤机(16)，通过压滤机(16)的固液分离，使滤液进入废水池(10)后再经废水泵(17)喷入焚烧炉(2)燃烧处理，滤渣可回收利用，从而实现了在镀膜废气处理过程中产生废水的循环净化，达到无污染排放的目的。

主权项

一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置，包括通过连接管道依次连通的变频废气风机(1)、焚烧炉(2)与洗涤塔(4)，以及通过管道依次连通的自动加药装置(11)、供液池(8)与碱液泵(7)，碱液泵(7)的出口与洗涤塔(4)的顶部相连通，其特征在于，所述焚烧炉(2)的出气口与洗涤塔(4)的入气口之间连接有高温静电除尘装置(3)，所述洗涤塔(4)的出气口连接有重力脱水装置(5)，重力脱水装置(5)的出气口连接有引风机(6)；所述各装置之间通过连接管道相连保证废气的有序流动。