磨削装置

摘要

本发明提供一种磨削装置，在使高度计的测量件与板状工件接触来进行板状工件的厚度测量的磨削装置中，防止磨粒侵入测量件与板状工件之间而与磨削条件无关。磨削装置具有保护高度计（5）的测量件（52）的测量件保护部（6），测量件保护部（6）具有：具有使测量件（52）通过的通过孔的配液板（56），在配液板（56）中具有在下表面开口的放液口（58），通过从放液口（58）放出清洗液，通过清洗液（7）围绕测量件（52）的周围，清洗液（7）能够阻止磨粒等附着物与磨削液一起流向测量件（52），能够防止磨粒等附着物进入测量件（52）和板状工件（W）之间。

主权项

一种磨削装置，至少具有：卡盘工作台，其具有保持板状工件的下表面的保持面；磨削构件，其对上述卡盘工作台所保持的板状工件进行磨削；磨削液供给构件，其在利用上述磨削构件磨削板状工件时向上述板状工件供给磨削液；以及高度计，其使测量件与通过上述磨削构件被磨削的板状工件的上表面接触，测量出上述板状工件的上表面高度，上述磨削装置的特征在于，在上述卡盘工作台的上方具有保护上述测量件的测量件保护部，上述测量件保护部由以下部分构成：配液板，其具有使上述测量件通过的通过孔；环状的配液路，其配设于上述配液板的内部；放液口，其从上述配液路向上述配液板的下表面开口，在上述通过孔的周围至少形成有3个该放液口；以及供给口，其与将清洗液供给到上述配液路的供给源连接，使上述配液板的下表面与上述卡盘工作台的上表面在大致平行的状态下面对面，使从上述供给口供给的清洗液从上述放液口放出，防止附着物附着在上述测量件的末端。