利用自适应阀启动位置的质量流量控制器算法

摘要

本发明公开了一种质量流量控制器(MFC)、用于校准MFC的方法和用于使MFC工作的方法。该MFC可以包括：阀，其能够在关闭位置和打开位置之间进行调整，以响应于控制信号来控制流体的流速；热式质量流量传感器，用于提供所述流体的流速的指示；校准数据，其包括多个流体流速下使所述控制信号与所述流体的流速相关的数据；以及控制系统，用于在所述阀关闭以更加快速地对设置点信号作出响应的情况下，基于所述校准数据和运行时间数据来将可调非零启动控制信号提供至所述阀。

主权项

一种质量流量控制器，包括：阀，其能够在关闭位置和打开位置之间进行调整，以响应于控制信号来控制流体的流速；热式质量流量传感器，用于提供所述流体的流速的指示；校准数据，其包括多个流体流速下使所述控制信号与所述流体的流速相关的数据；以及控制系统，用于在所述阀关闭以更加快速地对设置点信号作出响应的情况下，基于所述校准数据和运行时间数据来将可调非零启动控制信号提供至所述阀。