| 发明名称 | 用于微机械部件的制造方法和微机械部件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法，所述制造方法具有下述步骤：在硅层（10）的现有的（110）-表面定向的情况下，通过在所述硅层（10）的正面（12）上至少实施与晶体定向相关的蚀刻步骤从至少一个单晶的硅层（10）至少部分地结构化出至少一个结构（42、46），其中在硅层（10）的现有的（110）-表面定向的情况下，在所述硅层（10）的正面（12）上额外地实施至少一个与晶体定向无关的蚀刻步骤以用于至少部分地结构化出至少一个结构（42、46）。此外，本发明还涉及一种微机械部件。 | ||
| 申请公布号 | CN103723675A | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN201310484562.3 | 申请日期 | 2013.10.16 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | F.霍伊克;C.舍林;M.哈塔斯;B.施密特 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 梁冰;杨国治 |
| 主权项 | 一种用于微机械部件的制造方法，所述制造方法至少包括如下步骤：在所述硅层（10）的现有的（110）‑表面定向的情况下，通过在所述硅层（10）的正面（12）上至少实施与晶体定向相关的蚀刻步骤，从至少一个单晶的硅层（10）至少部分地结构化出至少一个结构（42、46）；其特征在于，在所述硅层（10）的现有的（110）‑表面定向的情况下，在所述硅层（10）的正面（12）上额外地实施至少一个与晶体定向无关的蚀刻步骤以用于至少部分地结构化出至少一个结构（42、46）。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||