探针卡检测方法及系统

摘要

本发明有关于一种探针卡检测方法及系统，主要是先以一三轴位移机构于XY平面移动影像撷取装置至探针卡上的多个区域其中之一，以撷取该区域的多根探针针尖影像，再于Z轴方向移动影像撷取装置至获得第一个清晰探针针尖影像，进而移动至对应清晰探针针尖影像的探针，记录三轴光学尺显示的一组实测坐标数据。重复相同操作模式获得探针卡所有区域的所有探针的坐标数据。最后将X坐标值的差值与Y坐标值的差值与对应允许公差值比对，以及计算所有组实测坐标数据的中位Z坐标值与其它Z坐标值的差值与一允许公差值比对，若超出就判定不合格。

主权项

一种探针卡检测方法，是利用一检测系统检测一探针卡的堪用度，该检测系统包括一机台、一载放座、一控制器、一数据库、一影像撷取装置、一三轴光学尺，该载放座架设于该机台，该机台设置有一上方三轴位移机构，该影像撷取装置与该三轴光学尺固定于该上方三轴位移机构，该控制器电性连接于该数据库、该影像撷取装置及该三轴光学尺，该数据库存有一数据文件，该数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据，该检测方法包括：(A)置放该探针卡于该载放座上，且将探针面朝上摆置；(B)复归该影像撷取装置至机台的一坐标原点；(C)以该上方三轴位移机构于XY平面移动该影像撷取装置至该多个区域的第一个，以撷取该区域的多根探针针尖影像；(D)以该上方三轴位移机构于Z轴方向移动该影像撷取装置至获得第一个清晰探针针尖影像，进而移动至对应该清晰探针针尖影像的探针，记录该三轴光学尺显示的一组实测坐标数据；(E)依序针对同一区域的其余探针影像重复步骤(D)；(F)针对其余区域的所有探针重复步骤(C)～(E)；(G)以该控制器计算所有实测坐标数据与对应的基准数据关于X坐标值的差值与Y坐标值的差值，以及计算所有组实测坐标数据的中位Z坐标值与其它Z坐标值的差值；以及(H)以该控制器分别就X坐标值、Y坐标值、Z坐标值比对计算所得的差值与对应的允许公差值，若X坐标值的差值、Y坐标值的差值、Z坐标值的差值其中之一超出对应的允许公差值，判定不合格。