一种纳米力学测试系统用样品台及其使用方法

摘要

一种纳米力学测试系统用样品台及其使用方法，属于纳米力学测试实验技术领域。本发明包括基体和样品支撑架，基体分为磁性样品区及非磁性样品区，磁性样品区内设置有变深度样品区，磁性样品区下面设有磁性金属；非磁性样品区内设有超薄样品放置区，样品支撑架与超薄样品放置区相对应。在本发明样品台上固定样品时无需胶水粘贴，避免清理胶水时损坏样品台；通过变深度样品区固定高度过高样品时，可以降低样品高度，避免撞针事故；通过样品支撑架固定超薄样品时，利用定位螺钉固定，借助样品支撑架提高样品高度；样品台坐标网格线用于扫描电镜定位样品位置，实现通过原位观察进行原位实验的要求，能够快速准确定位样品，工作效率和实验精度高。

主权项

一种纳米力学测试系统用样品台，其特征在于：包括基体和样品支撑架，所述基体分为磁性样品区及非磁性样品区，在所述磁性样品区内设置有变深度样品区，在磁性样品区对应的基体下表面设置有磁性金属；在所述非磁性样品区内设置有超薄样品放置区，所述样品支撑架与超薄样品放置区相对应。