| 发明名称 | 用于光刻的涂料组合物 | ||
| 摘要 | 在第一方面中，所提供的方法包括：（a）将可固化组合物涂布到基底上；(b)将硬掩模组合物涂布在该可固化组合物之上；（c）将光致抗蚀剂组合物层涂布在该硬掩模组合物之上，其中所述组合物的一种或多种可用无灰化方法除去。在第二方面中，所提供的方法包括：（a）将有机组合物涂布到基底上；(b)将光致抗蚀剂组合物层涂布在该有机组合物之上；其中该有机组合物包含一种当热处理和/或辐射处理时能产生碱溶基团的材料。本发明也提供了一种相关组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN103728840A | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN201410045225.9 | 申请日期 | 2007.04.11 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | M·K·噶拉格尔;A·赞皮尼 |
| 分类号 | G03F7/09(2006.01)I;G03F7/11(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 樊云飞 |
| 主权项 | 一种制备电子器件的方法，包括：将可固化组合物涂布到基底上；将硬掩模组合物涂布在所述可固化组合物之上；将光致抗蚀剂组合物层涂布在所述硬掩模组合物之上，其特征在于，所述组合物的一种或多种用无灰化方法除去。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||