光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构

摘要

一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明调整支撑机构可以实现照明镜组单元的安装调整和支撑固定，对照明镜组单元进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向进行调整，安装调整固定方便，具有较高的定位精度。

主权项

一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，特征在于其构成包括固定在一块底板（1）上的前端支撑装置（3）、第一后端支撑装置（4）、第二后端支撑装置（5）、连接第一后端支撑装置（4）和第二后端支撑装置（5）的后端支撑（6），所述前端支撑装置（3）、后端支撑（6）和光刻机照明系统的照明镜组单元（7）固定连接。