图像传感器中的部分埋入式沟道传送装置

摘要

本申请案涉及一种图像传感器中的部分埋入式沟道传送装置。图像传感器像素包含光敏元件、浮动扩散“FD”区域及传送装置。所述光敏元件安置于衬底层中以用于响应于光而积累图像电荷。所述FD区域安置于所述衬底层中以从所述光敏元件接收所述图像电荷。所述传送装置安置于所述光敏元件与所述FD区域之间以将所述图像电荷从所述光敏元件选择性地传送到所述FD区域。所述传送装置包含栅极、埋入式沟道掺杂剂区域及表面沟道区域。所述栅极安置于所述光敏元件与所述FD区域之间。所述埋入式沟道掺杂剂区域经安置而邻近于所述FD区域且在所述栅极下方。所述表面沟道区域安置于所述埋入式沟道掺杂剂区域与所述光敏元件之间且安置于所述栅极下方。

主权项

一种图像传感器像素，其包括：光敏元件，其安置于衬底层中以用于响应于光而积累图像电荷；浮动扩散“FD”区域，其安置于所述衬底层中以从所述光敏元件接收所述图像电荷；及传送装置，其安置于所述光敏元件与所述FD区域之间以将所述图像电荷从所述光敏元件选择性地传送到所述FD区域，所述传送装置包含：栅极，其安置于所述光敏元件与所述浮动扩散区域之间；埋入式沟道掺杂剂区域，其经安置而邻近于所述FD区域且在所述栅极下方；及表面沟道区域，其安置于所述埋入式沟道掺杂剂区域与所述光敏元件之间且安置于所述栅极下方。