| 发明名称 | 光谱纯度滤光片、包括这样的光谱纯度滤光片的光刻设备以及器件制造方法 | ||
| 摘要 | 一种光谱纯度滤光片包括孔阑。光谱纯度滤光片被配置成通过配置成吸收第一波长的辐射和允许第二波长的辐射的至少一部分透射通过所述孔阑，来提高辐射束的光谱纯度。所述第一波长大于所述第二波长。光谱纯度滤光片可以用于改善极紫外(EUV)辐射束的光谱纯度。 | ||
| 申请公布号 | CN102132213B | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN200980132826.0 | 申请日期 | 2009.07.29 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | W·A·索尔;M·M·J·W·范赫彭;M·J·J·杰克 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G21K1/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种光谱纯度滤光片，所述光谱纯度滤光片包括孔阑，所述光谱纯度滤光片配置成通过配置成吸收第一波长的辐射和允许第二波长的辐射的至少一部分透射通过所述孔阑，来提高辐射束的光谱纯度，所述第一波长大于所述第二波长，其中光谱纯度滤光片包括掺杂的Si，所述掺杂的Si配置成吸收至少第一波长的辐射。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||