衬底处理设备

摘要

本发明提供一种衬底处理设备，其包含：腔室，其中具有反应空间；衬底安放部件，其安置在所述腔室的所述反应空间中以使衬底安放在所述衬底安放部件上；感应加热单元，其用以加热所述衬底安放部件；以及至少一个高度调节单元，其用以根据所述衬底安放部件的温度调节区而在所述腔室的外部选择性地调节所述感应加热单元的高度。因此，有可能通过在所述腔室的外部调节所述衬底安放部件与所述感应加热单元之间的距离长度来恒定地控制所述衬底安放部件的温度。

主权项

一种衬底处理设备，其包括：腔室，其中具有反应空间；衬底安放部件，其安置在所述腔室的所述反应空间中以使衬底安放在所述衬底安放部件上，其中所述衬底安放部件包括主圆盘、驱动轮轴以及驱动元件；感应加热单元，其在所述衬底安放部件的所述主圆盘下方距所述衬底安放部件一距离而安置，且包括具有多个绕匝的线圈用以加热所述衬底安放部件；以及多个高度调节单元，其在所述腔室外部穿透所述腔室分别连接至所述感应加热单元的不同区，用以根据所述衬底安放部件的温度调节区独立地调节所述感应加热单元的每一区的高度。