发明名称 一种晶舟盒
摘要 本发明公开了一种晶舟盒,包括U型盒盖和放置晶圆的盒体。U型盒盖内侧镀有反光层,通过铰链与盒体连接。打开合盖后,通过镀层的反光与聚焦,可以方便的判断晶圆的正反面。
申请公布号 CN103730396A 申请公布日期 2014.04.16
申请号 CN201310707175.1 申请日期 2013.12.20
申请人 徐州万邦道路工程装备服务股份公司 发明人 丁奎
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 代理人 刘新合
主权项 一种晶舟盒,其特征在于:包括U型盒盖(1)、放置晶圆的盒体(2),U型盒盖(1)通过铰链与盒体(2)链接,所述U型盒盖内侧镀有反光层。
地址 221000 江苏省徐州市高新技术产业开发区第二工业园