发明名称 | 一种晶舟盒 | ||
摘要 | 本发明公开了一种晶舟盒,包括U型盒盖和放置晶圆的盒体。U型盒盖内侧镀有反光层,通过铰链与盒体连接。打开合盖后,通过镀层的反光与聚焦,可以方便的判断晶圆的正反面。 | ||
申请公布号 | CN103730396A | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
申请号 | CN201310707175.1 | 申请日期 | 2013.12.20 |
申请人 | 徐州万邦道路工程装备服务股份公司 | 发明人 | 丁奎 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人 | 刘新合 |
主权项 | 一种晶舟盒,其特征在于:包括U型盒盖(1)、放置晶圆的盒体(2),U型盒盖(1)通过铰链与盒体(2)链接,所述U型盒盖内侧镀有反光层。 | ||
地址 | 221000 江苏省徐州市高新技术产业开发区第二工业园 |