发明名称 一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统
摘要 本发明涉及生产使用的过程中化学药品的供给系统领域,具体地说是一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统。包括控制系统、补液桶、供液罐、控制阀体、电磁阀、产生负压的管路系统、上位液压传感器及下位液压传感器,其中供液罐上设有液体进、出口和气体进、出口,所述液体进、出口和气体进、出口分别通过单独的所述控制阀体控制其开、关,各控制阀体分别与电磁阀连接;补液桶通过液体管路与供液罐上的液体进口连接,产生负压的管路系统通过气体管路与供液罐上的气体出口连接,上位液压传感器和下位液压传感器分别设置于供液罐的上部和下部,上位液压传感器、下位液压传感器及电磁阀均与所述控制系统连接。本发明保证设备生产的连续性以及危险化学品非人工自动供给的安全性。
申请公布号 CN103727389A 申请公布日期 2014.04.16
申请号 CN201210393826.X 申请日期 2012.10.16
申请人 沈阳芯源微电子设备有限公司 发明人 汪明波
分类号 F17D1/08(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I 主分类号 F17D1/08(2006.01)I
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人 白振宇
主权项 一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统,包括控制系统,其特征在于:还包括补液桶H(19)、供液罐G(16)、控制阀体、电磁阀、产生负压的管路系统、上位液压传感器C<sub>1</sub>(17)及下位液压传感器C<sub>2</sub>(18),其中供液罐G(16)上设有液体进、出口和气体进、出口,所述液体进、出口和气体进、出口分别通过独立的所述控制阀体控制其开、关,所述各控制阀体分别与独立的所述电磁阀连接、并由各电磁阀分别控制;所述供液罐G(16)上的液体进口和液体出口分别通过液体管路与补液桶H(19)和设备连接,所述供液罐G(16)上的气体进口和气体出口分别通过气体管路与氮气源和产生负压的管路系统连接,所述上位液压传感器C<sub>1</sub>(17)和下位液压传感器C<sub>2</sub>(18)分别设置于供液罐G(16)的上部和下部,所述上位液压传感器C<sub>1</sub>(17)、下位液压传感器C<sub>2</sub>(18)及各电磁阀均与所述控制系统连接。
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