高精度光学测微法及其测微装置

摘要

本发明提供一种高精度光学测微法及其测微装置，本发明利用光线在镜面反射原理，把微小的物理变形放大，从而实现微小变形的测量。高精度光学测微计的主要元器件为镜面，在抵抗电磁干扰和耐久性上有其自身的优势，它具有对环境适应能力强和精度高的特点。

主权项

一种高精度光学测微法，其特征在于：该方法利用两个相对的镜面将入射光打在两镜面之间，在入射光改变一个微小角度的情况下，让入射光在两个镜面之间的不同反射点把这种微小改变成倍或数十倍的放大，从而把外界位移量与反射光线角度变化有机结合，以测量不易观察的微小变形，然后通过建立的关系式，把镜面反射点位移量转化为外界实际变形量，实现测微过程。