发明名称 一种高介电常数的Bi<sub>1-x</sub>Dy<sub>x</sub>FeO<sub>3</sub> 薄膜及其制备方法
摘要 一种高介电常数的Bi<sub>1-x</sub>Dy<sub>x</sub>FeO<sub>3</sub>薄膜及其制备方法,x=0.06~0.08,该薄膜为菱方结构,均匀性好,空间点群为R-3m(166),在1kHz频率下,其介电常数为152.8~241.6。制备方法:按摩尔比为(1.05-x):1:x将硝酸铋、硝酸铁和硝酸镝溶于乙二醇甲醚和醋酸酐混合而成的混合液中,得前驱液;在基片上旋涂前驱液,匀胶后烘烤得干膜,再退火,得Bi<sub>1-x</sub>Dy<sub>x</sub>FeO<sub>3</sub>薄膜,重复旋涂前驱液、烘烤、退火至达到所需的薄膜厚度,得高介电常数的Bi<sub>1-x</sub>Dy<sub>x</sub>FeO<sub>3</sub>。本发明设备要求简单,掺杂量易控,能够大幅度提高BiFeO<sub>3</sub>薄膜的介电性能。
申请公布号 CN103723771A 申请公布日期 2014.04.16
申请号 CN201310717935.7 申请日期 2013.12.20
申请人 陕西科技大学 发明人 谈国强;晏霞
分类号 C01G49/00(2006.01)I 主分类号 C01G49/00(2006.01)I
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人 陆万寿
主权项 一种高介电常数的Bi<sub>1‑x</sub>Dy<sub>x</sub>FeO<sub>3</sub>薄膜的方法,其特征在于:其化学式为Bi<sub>1‑x</sub>Dy<sub>x</sub>FeO<sub>3</sub>,x=0.06~0.08;在1kHz下,其介电常数为152.8~241.6。
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