一种固体介质层谐振器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种固体介质层谐振器及其制备方法，该固体介质层谐振器的驱动电极和传感电极的极板为梳齿状结构，内嵌在谐振体结构中，谐振体与极板通过固体绝缘介质层隔离。该谐振器的制备基于微机械加工工艺，与IC工艺兼容；梳齿状的极板结构增大了传感和驱动电极的面积，从而减小了其输入输出阻抗，增加了器件的匹配能力和信噪比；固体介质层的应用使电容极板间隙宽度容易控制，避免了空气介质造成的阻尼；本发明的固体介质层谐振器工作在体模态，在空气中即可高频、高Q值工作。

主权项

一种固体介质层谐振器，包括谐振体、驱动电极、传感电极、偏置电极，相应的支撑锚点和硅衬底，所述谐振体、驱动电极、传感电极、偏置电极通过锚点支撑于硅衬底上，其中：谐振体是悬空的结构；驱动电极和传感电极均由极板、焊盘和连接极板与焊盘的连接线构成，所述极板为梳齿状结构，内嵌在谐振体中，谐振体与极板通过固体绝缘介质层隔离，所述驱动电极和传感电极的数目相等；在驱动电极和传感电极的数目为多个的情况下，驱动电极极板和传感电极极板相间排列在谐振体中，且呈中心对称分布，所述谐振体为方形，四个角连接支撑锚点，其边长为20μm～1mm，厚度为2μm～10μm；谐振体中内嵌两个驱动电极极板和两个传感电极极板，四个极板结构相同，相间分布在谐振体的四个象限中，每个极板的梳齿方向平行于谐振体的一条边而垂直于相邻极板的梳齿方向，四个极板分别由连接线引出谐振体，所述焊盘位于谐振体外，焊盘上设有金属电极；偏置电极一端与谐振体电连接，另一端为焊盘。