一种电感式传感器性能指标的测量系统

摘要

一种电感式传感器性能指标的测量系统，包括：测量平台；传感器组件，该传感器组件包括至少一个传感器、传感器测臂、以及位于该传感器测臂上的传感器测头；传感器位置调节装置，调整该传感器测头或调整内径测量测臂组合上的测头位置，使两者保持接触直至该传感器的输出值为零后锁定；微动系统，至少包括微动系统执行机构，该微动系统执行机构至少包括内径测量测臂组合、载物平台、导轨、光栅尺，其中该内径测量测臂组合固定在该载物平台上，该载物平台的位移使内径测量测臂组合一起位移，从而使传感器测头也随之一起位移，该载物平台的位移方向以及位移大小由该光栅尺测量。

主权项

一种电感式传感器性能指标的测量系统，包括：测量平台；传感器组件，固定在传感器固定支架上，该传感器组件包括至少一个电感式传感器、传感器测臂、以及位于该传感器测臂上的传感器测头；传感器位置调节装置，固定在该测量平台上，调整该传感器测头或调整内径测量测臂组合上的测头位置，使两者保持接触直至该传感器的输出值为零后锁定；微动系统，至少包括微动系统执行机构，该微动系统执行机构通过微动装置支架固定在该测量平台上，该微动系统执行机构至少包括内径测量测臂组合、载物平台、导轨、光栅尺，其中该内径测量测臂组合固定在该载物平台上，该载物平台的位移使该内径测量测臂组合一起位移，从而使该传感器测头也随之一起位移，该载物平台的位移方向以及位移大小由该光栅尺测量。