用于负型抗蚀剂的可显影底部抗反射涂料组合物

摘要

一种负型可显影底部抗反射涂料(NDBARC)材料包括聚合物，该聚合物含有脂肪族醇部分、芳香族部分以及羧酸部分。NDBARC组合物在涂布及烘烤之后不溶于一般的光刻胶溶剂，如丙二醇甲基醚乙酸酯(PGMEA)。NDBARC材料也包括光酸产生剂以及选择性的交联化合物。在NDBARC材料中，羧酸提供显影剂溶解性，而醇单独、羧酸单独或其组合提供PGMEA抗性。NDBARC材料对光刻胶溶剂具有抗性，因此，在涂布光刻胶于NDBARC上方的过程中，NDBARC与光刻胶之间不会发生互混。在曝光及烘烤之后，由于负型光刻胶中的聚合物与光刻曝光部分中的NDBARC层之化学增强交联，该负型光刻胶与该NDBARC层之光刻曝光部分皆变成不溶于显影剂。

主权项

一种用于负型可显影底部抗反射涂料(NDBARC)材料的物质组合物，该物质组合物包含聚合物，该聚合物包括至少一个羧酸部分、至少一个可交联脂肪族醇部分以及至少一个芳香族部分。