主权项 |
1.基于波长移相法检测平面间平行度的方法,其特征是,该方法由以下步骤实现:步骤一、计算机(1)控制驱动器(2)使可调谐激光器(3)发出的激光束经分束器(4)后被准直物镜(5)准直为平行光束,所述平行光束入射到半反半透平面(6)和全反射面(7)上,经过半反半透平面(6)和全反射平面(7)反射的光束再次经过准直物镜(5)和分束器(4)后被第二准直物镜(8)准直;所述准直光束被信息采集处理系统(9)采集;步骤二、所述计算机(1)根据接收信息采集处理系统(9)采集的信号,采用四步平均算法逐点获得半反半透平面(6)和全反射平面(7)之间的倾斜量,并取倾斜量的最大值;步骤三、将步骤二中获得的倾斜量的最大值代入公式<img file="FDA0000456894880000011.GIF" wi="222" he="140" />中,式中,α为半反半透平面(6)和全反射平面(7)间的平行度,<img file="FDA0000456894880000012.GIF" wi="125" he="81" />为视场内相位差的最大值,λ为激光器出射光束的波长,D为视场直径;获得半反半透平面(6)和全反射平面(7)间的平行度,判断所述平行度的值是否大于10-6弧度值,如果是,根据倾斜量的最大值调整全反射平面(7),执行步骤一,如果否,执行步骤四;步骤四、计算机输出半反半透平面(6)和全反射平面(7)之间的平行度。 |