玻璃基板检查装置及玻璃基板检查方法

摘要

以简单的装置结构满足使玻璃基板移动并进行缺陷检查的要求，同时，不使玻璃基板的边上产生过度的应力集中，矫正玻璃基板的弯曲，提高缺陷的检测精度。一种玻璃基板检查装置(1)，通过使纵姿态的玻璃基板(G)相对于缺陷检测机构(3)沿玻璃基板(G)的宽度方向进行相对移动，而使缺陷检测机构(3)对玻璃基板(G)进行扫描，来检查玻璃基板(G)是否含有缺陷，其中，具备把持玻璃基板(G)的上边的上部把持机构(4)和把持玻璃基板(G)的下边的下部把持机构(5)，仅通过上部把持机构(4)和下部把持机构(5)所进行的把持来保持玻璃基板(G)，并且使上部把持机构(4)与下部把持机构(5)背离，对玻璃基板(G)沿上下方向施加张力，在此状态下，使玻璃基板(G)朝向缺陷检测机构(3)沿宽度方向移动。

主权项

一种玻璃基板检查装置，通过使纵姿态的玻璃基板相对于缺陷检测机构沿所述玻璃基板的宽度方向进行相对移动，而使所述缺陷检测机构对所述玻璃基板进行扫描，来检查所述玻璃基板是否含有缺陷，所述玻璃基板检查装置的特征在于，具备：把持所述玻璃基板的上边的上部把持机构；把持所述玻璃基板的下边的下部把持机构；从上方支承所述上部把持机构，且沿着所述玻璃基板的宽度方向引导所述上部把持机构的上部导轨；从下方支承所述下部把持机构，且沿着所述玻璃基板的宽度方向引导所述下部把持机构的下部导轨，所述缺陷检测机构具有沿上下方向排列有多个相机的线路传感器，仅通过所述上部把持机构和所述下部把持机构所进行的把持来保持所述玻璃基板，并且使所述上部把持机构与所述下部把持机构背离，对所述玻璃基板沿上下方向施加张力，在此状态下，通过同步移动的所述上部把持机构和所述下部把持机构，使所述玻璃基板朝向所述线路传感器沿宽度方向移动，由此使所述线路传感器对所述玻璃基板整体进行扫描。