谐波差速传动装置及采用谐波差速传动装置的单晶炉

摘要

一种谐波差速传动装置，包括传动轴、端盖、左壳体、小隔圈、中壳体、大齿轮、右壳体、谐波减速器、挡片、大隔圈、连接座、小马达、输入轴、大马达。该谐波差速传动装置采用结构简单的双马达结构提供高精度、高可靠性的高、低速动力给单晶炉内的坩埚轴及籽晶绳，以使坩埚机构、籽晶机构中的坩埚轴及籽晶绳实现高速、低速上升、下降操作，进而减少晶棒的精度不良现象。本发明还提供一种采用谐波差速传动装置的单晶炉。

主权项

一种谐波差速传动装置，其特征在于：谐波差速传动装置包括传动轴、端盖、左壳体、小隔圈、中壳体、大齿轮、右壳体、谐波减速器、挡片、大隔圈、连接座、小马达、输入轴、大马达；传动轴前端通过轴承、小隔圈配合在左壳体上，传动轴后端与谐波减速器连接，传动轴后端设置有轴承收容部，通过轴承与输入轴配合；端盖固定在左壳体上，小隔圈安装在端盖与左壳体之间，如此通过端盖、小隔圈来调节传动轴与左壳体的配合间隙；谐波减速器通过轴承、挡片、大隔圈与左壳体、右壳体配合；大齿轮通过键与安装在右壳体上的大马达连接，且大齿轮的轮齿与谐波减速器啮合连接，大齿轮与右壳体通过轴承配合；输入轴的后端与固定在连接座上的小马达连接，输入轴的后端还与连接座通过轴承配合，输入轴中端与谐波减速器通过键配合，输入轴前端与传动轴通过轴承配合。