具有加热器的基板支撑件

摘要

本发明提供具有加热器的基板支撑件。在一些实施方式中，基板支撑件可包括第一构件，以当基板出现在第一构件的第一表面的上方时，分配热至基板；加热器，该加热器耦接至第一构件并且具有一个或更多个加热区，以提供热至第一构件；第二构件，该第二构件设置在第一构件下面；管状主体，该管状主体设置在第一构件与第二构件之间，其中管状主体在第一构件与第二构件之间形成间隙；以及多个基板支撑销，该基板支撑销设置在第一构件的第一表面上方的第一距离处，当基板出现在基板支撑件上时，多个基板支撑销支撑基板的背侧表面。

主权项

一种基板支撑件，包括：第一构件，当基板出现在所述第一构件的第一表面的上方时，所述第一构件分配热至所述基板；加热器，所述加热器耦接至所述第一构件并且具有一个或更多个加热区，以提供热至所述第一构件；第二构件，所述第二构件设置在所述第一构件下面；管状主体，所述管状主体设置在所述第一构件与所述第二构件之间，其中所述管状主体在所述第一构件与所述第二构件之间形成间隙；以及多个基板支撑销，所述基板支撑销设置在所述第一构件的所述第一表面上方的第一距离处，当基板出现在所述基板支撑件上时，所述多个基板支撑销支撑所述基板的背侧表面。