发明名称 用于薄膜的闪光灯退火
摘要 一种制造结晶膜的方法,其包括在衬底上提供包括具有选定结晶表面取向的种晶粒的膜;使用脉冲光源辐射膜以在提供混合的液相/固相的条件下提供膜的脉冲熔融以及在提供具有选定表面取向的织构多晶层的条件下允许混合的固相/液相固化。可以采用一种或多种辐射处理。该膜适于使用在太阳能电池中。
申请公布号 CN101971293B 申请公布日期 2014.04.16
申请号 CN200980106909.2 申请日期 2009.02.27
申请人 纽约市哥伦比亚大学理事会 发明人 J·S·艾姆;P·C·范·德·威尔特;尤金·钟
分类号 H01L21/268(2006.01)I 主分类号 H01L21/268(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 申发振
主权项 一种制备结晶膜的方法,所述方法包括:在衬底上提供膜,所述膜包括具有均匀的结晶表面取向的种晶粒;使用脉冲光源辐射所述膜以在提供延伸遍布所述膜的厚度的多个固体部分和液体部分的条件下提供所述膜的脉冲熔融,产生了混合的液相/固相,其中所述固体部分包括所述种晶粒,其中所述固体部分和所述液体部分有规律地分隔且尺寸均匀;以及允许所述混合的固相/液相固化成由所述种晶粒横向生长的晶体以提供具有所述种晶粒的结晶表面取向的织构多晶层。
地址 美国纽约