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发明名称 Semiconductor manufacturing process modules
摘要 A variety of process modules are described for use in semiconductor manufacturing processes.
申请公布号 US8696298(B2) 申请公布日期 2014.04.15
申请号 US20070876902 申请日期 2007.10.23
申请人 VAN DER MEULEN PETER;KILEY CHRISTOPHER C;PANNESE PATRICK D.;BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 VAN DER MEULEN PETER;KILEY CHRISTOPHER C;PANNESE PATRICK D.
分类号 B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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