| 摘要 |
Rauheits- und/oder Profil- und/oder Abstands-Messvorrichtung mit einem, vorzugsweise als Freitaster ausgebildeten, Messtaster, der wenigstens einen als Oberflächen-Antastelement ausgebildeten Sensor enthält, vorzugsweise in Form einer eine Tastspitze aufweisenden Tastnadel (5) und/oder in Form eines kugelförmigen Antastkörpers, zur berührenden Erfassung bzw. Messung des mikroskopischen Oberflächenprofils (8) eines Messobjekts, insbesondere eines Werkstücks, und mit einem Meßsystem (4) zur Erfassung bzw. Messung der Stellung des Oberflächen-Antastelements relativ zu der Oberfläche (8) des Messobjekts, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung mindestens einen weiteren Sensor (6, 7) zur Erfassung einer oder mehrerer lokaler physikalischer, chemischer, biologischer und/oder geometrischer Eigenschaften der Oberfläche (8) des Messobjekts umfasst. |
