发明名称 Thin film circuitry
摘要
申请公布号 US3239374(A) 申请公布日期 1966.03.08
申请号 US19620206084 申请日期 1962.06.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 AMES IRVING;GREGOR LAWRENCE V.;LEINER ALAN L.;TOXEN ARNOLD M.
分类号 C23C14/02;C23C14/04;C23C14/58;C23F1/02;G11C11/44;H01B1/00;H01L39/00;H01L39/18;H01L39/24;H01L49/02;H05K3/14 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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