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发明名称 辉光放电装置
摘要
申请公布号 TWM476357 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW102223473 申请日期 2013.12.12
申请人 张奇龙 发明人 张奇龙;吴宛玉;陈品宏;陈威池
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 台中市南屯区公益路2段615之8号9楼之3 TW
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