发明名称 加工废液处理装置
摘要
申请公布号 TWI433748 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW099121034 申请日期 2010.06.28
申请人 迪思科股份有限公司 日本 发明人 吉田干;风吕中武
分类号 B23Q11/10;B01J47/00;H01L21/301 主分类号 B23Q11/10
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 日本