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发明名称 高速溅镀装置及方法
摘要
申请公布号 TWI433954 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW097118953 申请日期 2008.05.22
申请人 汉能控股集团有限公司 中国 发明人 丹尼斯　赫拉斯
分类号 C23C14/35;C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 中国
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