发明名称 具有交换桥之微影装置
摘要
申请公布号 TWI434128 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW098138291 申请日期 2009.11.11
申请人 ASML荷兰公司 荷兰 发明人 克鲁辛贾 马修斯;奥尔 法兰克;杰考伯 法兰西可斯 马休杰斯;韩森 罗尼 贺曼 安娜
分类号 G03B27/58 主分类号 G03B27/58
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 荷兰