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经营范围
发明名称
具有交换桥之微影装置
摘要
申请公布号
TWI434128
申请公布日期
2014.04.11
申请号
TW098138291
申请日期
2009.11.11
申请人
ASML荷兰公司 荷兰
发明人
克鲁辛贾 马修斯;奥尔 法兰克;杰考伯 法兰西可斯 马休杰斯;韩森 罗尼 贺曼 安娜
分类号
G03B27/58
主分类号
G03B27/58
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
荷兰
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