发明名称 晶圆的研磨方法
摘要
申请公布号 TWI434338 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW099141784 申请日期 2010.12.01
申请人 胜高股份有限公司 日本 发明人 绪方晋一;御厨俊介;高石和成;高梨启一;谷口铁郎
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 日本