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经营范围
发明名称
电浆ＣＶＤ装置
摘要
申请公布号
TWI434334
申请公布日期
2014.04.11
申请号
TW097144749
申请日期
2008.11.19
申请人
日本ＡＳＭ股份有限公司 日本
发明人
中野龙;福田秀明
分类号
H01L21/30;C23C16/513;H05H1/26
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址
日本
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