| 发明名称 |
驱动磁力零件以及使用该零件的基板运送单元与基板处理装置 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI433806 |
申请公布日期 |
2014.04.11 |
| 申请号 |
TW097142735 |
申请日期 |
2008.11.05 |
| 申请人 |
细美事有限公司 南韩 |
发明人 |
林宪燮;金炯拜;姜一圭;柳承洙 |
| 分类号 |
B65G49/06;B65G54/02;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
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| 地址 |
南韩 |
