| 发明名称 |
Verfahren zum AEtzen eines einen pn-UEbergang enthaltenden Siliziumkoerpers einer Halbleiteranordnung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1212819(B) |
申请公布日期 |
1966.03.17 |
| 申请号 |
DE1961L038110 |
申请日期 |
1961.02.03 |
| 申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-G.M.B.H. |
发明人 |
MAGNER RICHARD |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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