| 发明名称 |
基板处理装置 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI434335 |
申请公布日期 |
2014.04.11 |
| 申请号 |
TW100134597 |
申请日期 |
2011.09.26 |
| 申请人 |
大日本网屏制造股份有限公司 日本 |
发明人 |
藤原直树;谷泽成规;野月笃志;佐野诚一郎;泽岛隼;石川秀和;藤原友则 |
| 分类号 |
H01L21/30;G02F1/13;G11B5/84;B05C5/02 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
