发明名称 形成自对准接触物之方法及具有自对准接触物之积体电路
摘要
申请公布号 TWI434353 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW100115044 申请日期 2011.04.29
申请人 南亚科技股份有限公司 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 发明人 何家铭;陈逸男;刘献文
分类号 H01L21/335;H01L21/336 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号