Optische Sensoranordnung sowie Verfahren zur Erfassung einer Messgröße mit Hilfe einer optischen Sensoranordnung

摘要

Zur Ausbildung einer miniaturisierten, monolithischen Interferometeranordnung zur Erfassung einer Messgröße ist ein Sensorelement mit einem sich in Längsrichtung erstreckenden Träger (4) mit einer Wellenleiterstruktur (6) vorgesehen. Zur Ausbildung eines Interferometers weist die Wellenleiterstruktur (6) einen Referenzleiter (22) sowie einen Messleiter (20) auf, die parallel nebeneinander geführt sind. Zur Erfassung der Messgröße weist das Sensorelement (2) eine seitliche, messaktive Seitenfläche (12A) auf, auf die die zu erfassende Messgröße einwirkt, so dass eine asymmetrische Wechselwirkung der Messgröße mit der Wellenleiterstruktur (6) erfolgt und die optische Weglänge des Messleiters (20) in Relation zum Referenzleiter (22) variiert. Dieser Weglängenunterschied wird durch das Interferometer elektronisch ausgewertet.