Massiver Finfet mit einheitlicher Höhe und Bodenisolierung

摘要

Ein Finnen-Feldeffekttransistor (FinFET), ein Array von FinFETs und Verfahren zur Herstellung derselben. Die FinFETs werden auf einer isolierenden Zone bereitgestellt, welche gegebenenfalls Dotierstoffe enthalten kann. Ferner sind die FinFETs gegebenenfalls mit einem Kontaktfleck bedeckt. Die in einem Array bereitgestellten FinFETs weisen eine einheitliche Höhe auf.